真空システムにおけるダイアフラムポンプの性能特性および特殊な応用
炭化水素を含まない吸引チャンバーにより、ダイアフラムポンプはターボ分子ポンプのバックアップポンプとして特に適しています。2段式ダイアフラムポンプでも約5 hPaの極圧を達成できます。ターボ分子ポンプのバックアップポンプの場合、これで十分です。クリーンな真空は特に分析や研究開発の応用に適しています。ガスバラストがないため、ダイアフラムポンプは水蒸気を排出できません。高真空機器の壁から少量の水蒸気が吸着されても、ダイアフラムポンプの最終圧力は急激に上昇することがあります。しかし、一部のダイアフラムポンプには特許取得済みの方法で動作するガスバラストバルブが装備されています。この目的のために、ガスは2段式ダイアフラムポンプの第1段と第2段の接続通路に入り、小さな穴を通じて第1段の吸引室に接続されます。
大量の水分が蓄積し、ガスバラストなしのダイアフラムポンプを使用する場合は、ポンプ内で大量の凝縮水が発生するのを防ぐために、適切な分離器やコールドトラップを上流に接続する必要があります。しかし、最終的なプレッシャーはさらに高まるでしょう。
ダイアフラムポンプは、最終的な圧力、送り速度、腐食性ガスの吸い込み安定性において異なります。このタイプのポンプの揚水速度は3から160 l·min-1(0.25から9.6 m3·h-1)の間です。2段式ポンプは4 hPa未満の極圧を達成でき、4段式ポンプは0.5 hPa未満の極限圧力を達成できます。ポンプ速度と達成可能な最終圧力は電源の周波数に依存します。
耐腐食性ガスポンプは、コーティングされたダイアフラムと耐腐食性ケースを備え、腐食性ガスの吸い込みに適しています。
ポンプの命名方法はl ·min-1はポンプ速度を示し、番号はポンプの段数を示します。
