ワイルドダイヤフラム真空ポンプ|ダイヤフラム真空ポンプの応用
炭化水素を含まない吸引チャンバーにより、ダイヤフラムポンプはターボ分子ポンプを備えたバッキングポンプとして特に適しています。2段ダイヤフラムポンプでも、約5hPaの到達圧力を達成できます。ターボ分子ポンプのバッキングポンプの場合、これで十分です。クリーンな真空は、分析およびR&Dアプリケーションに特に適しています。ガス安定器がないため、ダイヤフラムポンプは水蒸気を排出できません。高真空装置の壁面から少量の水蒸気を脱離しても、ダイヤフラムポンプの到達圧力が急激に上昇する可能性があります。ただし、一部のダイヤフラムポンプには、特許取得済みの方法に従って動作するガスバラストバルブが装備されています。この目的のために、ガスは2段ダイヤフラムポンプの第1段と第2段との間の接続通路に入ることを許され、そしてこれは小さな穴を通して第1段階の吸引室に接続される。
大量の水分が蓄積し、ガス安定器のないダイヤフラムポンプを使用する場合は、ポンプ内に大量の凝縮液が形成されるのを防ぐために、適切なセパレーターまたはコールドトラップを上流に接続する必要があります。しかし、究極の圧力は増加します。
ダイヤフラムポンプは、到達圧力、排気速度、腐食性ガスを吸引する安定性が異なります。このタイプのポンプの排気速度は、3〜160 l·min-1(0.25〜9.6 m3·h-1)の間です。2段ポンプは4hPa未満の到達圧力を達成でき、4段ポンプは0.5hPa未満の到達圧力を達成できます。排気速度と達成可能な最終圧力は、電源の周波数に依存します。
コーティングされたダイヤフラムと耐食性ケーシングを備えた耐腐食性ガスポンプは、腐食性ガスの吸引に適しています。
ポンプの命名方法はl ·min-1はポンプ速度を示し、数はポンプの段数を示します。
