アロ製ダイアフラム真空ポンプ|ダイアフラム真空ポンプとは何か
ダイアフラム真空ポンプは乾式真空ポンプです。クランクシャフトで駆動されるコンロッドが、上部カバーとハウジングの間に張力をかけたダイアフラムを動かします。上部カバーと横隔膜の間の空間は吸引室を形成します。ダイアフラムポンプは、目標ガス変位を達成するために入口弁と出口弁が必要です。このバルブはエラストマー素材で作られた圧力制御遮断弁で構成されています。吸引室は各ダイアフラムを通じてドライバーと密閉されているため、ポンプ媒体は油に汚染されず、腐食性媒体も機械構造を腐食しません。出口弁と吸込み室の間の固定された空間は圧縮比に制限があるため、単段ポンプは約70 hPaの最終圧力を達成できます。多段ポンプを直列に接続することで、0.5 hPaの最終圧力を達成することが可能です。吸気バルブを開くのに十分な力がないため、圧力を下げることはできません。ダイアフラムポンプの原理は、約10 m3 ·H-1。
アロ製ダイアフラム真空ポンプ
