aroダイヤフラム真空ポンプ|ダイヤフラム真空ポンプとは
ダイヤフラム真空ポンプは乾式真空ポンプです。クランクシャフトによって駆動されるコネクティングロッドが、上部カバーとハウジングの間に張られたダイヤフラムを動かします。上部カバーとダイヤフラムの間の空間が吸引チャンバーを形成します。ダイヤフラムポンプは、目標のガス移送量を達成するために入口弁と出口弁を必要とします。エラストマー材料で作られた圧力制御遮断弁がこの弁を構成します。吸引チャンバーは各ダイヤフラムを介してドライバーと密閉されているため、ポンプ媒体はオイルで汚染されず、腐食性媒体が機械構造を腐食することもありません。出口弁と吸引チャンバーの間の固定空間は限られた圧縮比を生み出し、これは単段ポンプで約70 hPaの到達圧力を達成できることを意味します。多段ポンプを直列に接続することで0.5 hPaの到達圧力を達成することが可能です。入口弁を開くのに十分な力がもはやないため、それより低い圧力は達成できません。ダイヤフラムポンプの原理は、約10 m3・h-1の低い排気速度に特に適しています。
aro ダイヤフラム真空ポンプ
